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ULSI硅襯底化學機械研磨技術研究StudyofCMPLappingTechnique
硅(gui)錳(meng)(meng)冶(ye)煉(lian)(lian)渣(zha)(zha)簡稱硅(gui)錳(meng)(meng)渣(zha)(zha),是(shi)冶(ye)煉(lian)(lian)硅(gui)錳(meng)(meng)合(he)金(jin)的過程(cheng)中產生的固體(ti)廢渣(zha)(zha),由于冶(ye)煉(lian)(lian)工藝的限制,硅(gui)錳(meng)(meng)冶(ye)煉(lian)(lian)渣(zha)(zha)中含(han)有一定量的硅(gui)錳(meng)(meng)合(he)金(jin),尤其是(shi)硅(gui)錳(meng)(meng)干渣(zha)(zha),其中的硅(gui)錳(meng)(meng)合(he)金(jin)含(han)量較高,。
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八英寸銅化學機械研磨工藝對硅片腐蝕的改善-收費碩士博士論文-
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高精度氣壓燒結氮化硅陶瓷球的研磨技術-《機械工藝師》1995年08期
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東(dong)莞(guan)市(shi)百(bai)特研磨材料(liao)有(you)限公(gong)司是一家專業供應各種金剛砂(sha)磨料(liao):棕(zong)剛玉砂(sha),白剛玉砂(sha),百(bai)特本司擁有(you)專業技(ji)術人員采用(yong)美國諾頓工(gong)藝設備流程,生產(chan)出的產(chan)品質(zhi)(zhi)量穩定、品質(zhi)(zhi)。
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