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晶體(ti)硅(gui)生產工藝(yi)流程(cheng)2012-11-2811:55:13硅(gui)材(cai)料是當前重要的(de)半導材(cai)料,目前、徑(jing)向電阻率均勻性(xing)得到改善,但需配置磁場設備并提供(gong)激磁電源,增加成(cheng)本和(he)工藝(yi)難度。

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