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硅粉加工工藝設備的發展趨勢_百度文庫
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2011年10月11日(ri)-擔(dan)(dan)任(ren)上(shang)海三和硅(gui)業有限責任(ren)公(gong)(gong)司總(zong)經(jing)(jing)理全面負責公(gong)(gong)司的硅(gui)粉生產、設備的改(gai)造和2011年成立江蘇奇新金(jin)屬硅(gui)深加工機(ji)械設備有限公(gong)(gong)司擔(dan)(dan)任(ren)法定代(dai)表人兼(jian)總(zong)經(jing)(jing)理。
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論文:摘(zhai)要:微(wei)電子機(ji)械系統(MEMS)是一項21世紀可以廣泛應用的新(xin)興技術。硅微(wei)機(ji)械加工工藝是近年來隨著集成電路工藝發展(zhan)起來的MEMS主流技術。介紹(shao)了MEMS的特點。
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硅微機械加(jia)工技(ji)術,作者:(法)M.埃爾溫(wen)斯波克//(捷)H.揚森(sen)譯者:姜巖峰,ISBN:9787502592585,化(hua)學工業,2008-05-01第1版2008-05-01第1次印刷。博庫網(wang)全場。
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