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《碳(tan)(tan)化(hua)硅(gui)和(he)生產工藝(yi)(yi)技(ji)術,碳(tan)(tan)化(hua)硅(gui)的加工制(zhi)造方(fang)法(fa)》201010120955碳(tan)(tan)化(hua)硅(gui)和(he)生產工藝(yi)(yi)技(ji)術,碳(tan)(tan)化(hua)硅(gui)的加工制(zhi)造方(fang)法(fa)光盤目(mu)錄CN一種碳(tan)(tan)化(hua)硅(gui)介孔材料及其制(zhi)備方(fang)法(fa)CN一種高(gao)比(bi)表。
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本發明公開了(le)一(yi)種碳化硅微粉(fen)回收的方(fang)法,其(qi)特征(zheng)在于(yu)將硅晶片加工(gong)工(gong)藝中的線切削廢砂漿進行(xing)多級處(chu)理,包(bao)括如(ru)下步(bu)驟:固液分離、碳化硅粒(li)度分級、碳化硅提(ti)純、微粉(fen)干(gan)燥(zao)。
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工(gong)藝是將(jiang)化工(gong)和礦(kuang)業加工(gong)技術相融合,結合電(dian)子材料加工(gong)的(de)特點(dian),利用離心(xin)分(fen)離分(fen)散(san)、化學清(qing)(qing)洗、絮凝、萃取等分(fen)離原理和方法,將(jiang)廢砂漿(jiang)中的(de)雜質清(qing)(qing)除(chu),得到合格的(de)碳(tan)化硅微粉和。
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2013年(nian)8月14日(ri)-碳(tan)(tan)化(hua)硅冶(ye)煉(lian)過(guo)程中(zhong)爐氣回收存在(zai)的(de)(de)主要(yao)問題有(you)三:一是(shi)安全性。碳(tan)(tan)化(hua)硅冶(ye)煉(lian)過(guo)程國內(nei)碳(tan)(tan)化(hua)硅冶(ye)煉(lian)、加工制砂微粉生產企(qi)業在(zai)前(qian)幾年(nian)市(shi)場形勢(shi)好的(de)(de)情況下,很少。
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一種從切割(ge)廢砂漿(jiang)(jiang)中回收硅(gui)粉和碳(tan)化硅(gui)粉的方(fang)法,其特(te)征是,包括(kuo)下述(shu)步驟:a.先(xian)將(jiang)廢砂漿(jiang)(jiang)進行固液。
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2013年3月19日(ri)-510CN201110027122.6一(yi)(yi)種從硅片切割產生的(de)廢砂漿中回(hui)收碳化硅微粉的(de)方法(fa)511540CN201110121351.4一(yi)(yi)種刻面碳化硅寶(bao)石成品的(de)加工方法(fa)541CN201110092424.1一(yi)(yi)。