MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固(gu)態裝配型諧振器(qi)(qi)(SMR)方面,論文(wen)采用上(shang)述(shu)模型分析了四分之一波長(chang)布(bu)拉格反射柵對其諧振特(te)性(xing)的影響,得(de)到了SMR器(qi)(qi)件獲得(de)理想(xiang)性(xing)能所需(xu)的少反射柵對數;另外,考(kao)慮到實際(ji)。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電層的(de)(de)典型厚度在(zai)幾個微米或壓力場看起來與(單(dan)晶的(de)(de))石英(ying)模式的(de)(de)石英(ying)這種類型的(de)(de)BAW被稱為固態裝配諧振器(SMR)。魯棒性而(er)言,,則可減(jian)少(shao)諧振器。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固(gu)態裝配(pei)型諧振器(SMR)的(de)模擬分析(xi)湯(tang)亮郝震宏喬東海汪(wang)承灝(hao)摘要:正1引言近年來,薄膜體(ti)聲波諧振器(FBAR)由于其(qi)較小的(de)體(ti)積以及可與IC電路進行(xing)單(dan)。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形成的(de)諧振(zhen)器(qi)(qi)是(shi)固態裝配(pei)諧振(zhen)器(qi)(qi)(SMR)。在一(yi)個實施例中,襯底12由(you)硅(Si)制(zhi)(zhi)成,PZ層(ceng)18由(you)氮化(hua)鋁(AlN)制(zhi)(zhi)成。或者,也可以(yi)使用其他的(de)壓電材料來(lai)制(zhi)(zhi)作PZ層(ceng)18。在一(yi)。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工藝(yi)的(de)高性(xing)能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW第2頁/共6頁<上一頁下這種類型的(de)BAW被(bei)稱(cheng)為固態裝配諧振器(SMR)。魯棒性(xing)而言,SMR比膜結構的(de)BAW要好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種類(lei)型(xing)的BAW被稱為固態裝配諧振器(SMR)。魯棒(bang)性而言,SMR比膜結構的BAW要好很多。在(zai)劃片和裝配所需的各種標準工序中(zhong),沒(mei)有機械損壞的風(feng)險。壓電(dian)層(ceng)和電(dian)極層(ceng)上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做成膜結構或一(yi)并(bing)沉積到一(yi)個(ge)薄的支撐膜上,形成空(kong)氣一(yi)固體交界面(mian);還有一(yi)種方式是采用“聲波鏡”形成反(fan)射面(mian)來實現,這種結構被稱為(wei)“固態裝配諧振(zhen)器(qi)(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸鉛溶膠凝膠諧(xie)振器(qi)建立(li)微(wei)型體聲波諧(xie)振器(qi)機械結構的等效(xiao)電(dian)路模型,運用PSPICE軟件研究4湯(tang)亮;郝震(zhen)宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固態裝配型諧(xie)振器(qi)(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓(ya)電薄(bo)膜諧(xie)振器(qi)可以分類為FBAR(膜體聲(sheng)諧(xie)振器(qi))型和SMR(固態(tai)裝配諧(xie)振器(qi))型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述聲(sheng)(sheng)波器件(jian)的(de)示(shi)例為諸如FBAR(膜體聲(sheng)(sheng)波諧(xie)(xie)振(zhen)器)和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝配諧(xie)(xie)振(zhen)器)的(de)薄膜諧(xie)(xie)振(zhen)器。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振器(qi)(10;110;和210)包括少(shao)部(bu)分(fen)地補(bu)償通(tong)過電極(ji)壓電疊(die)層(18)引入(ru)的溫度感(gan)應效應的鐵磁(ci)補(bu)償器(qi)(20;120;和220)。該補(bu)償器(qi)具有(you)正頻率溫度系數(shu),而疊(die)層具有(you)負。
BAW_百度文庫
包(bao)含這些(xie)壓(ya)電(dian)薄(bo)(bo)膜(mo)諧(xie)振器(qi)(qi)的(de)濾(lv)波器(qi)(qi)也受到關注。[0003]壓(ya)電(dian)薄(bo)(bo)膜(mo)諧(xie)振器(qi)(qi)的(de)例(li)子包(bao)括FBAR(薄(bo)(bo)膜(mo)腔(qiang)聲諧(xie)振器(qi)(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和(he)SMR(固態裝配諧(xie)振器(qi)(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將(jiang)上述(shu)壓(ya)電薄膜(mo)諧振器(qi)(qi)分(fen)為兩種類型,FBAR(薄膜(mo)腔(qiang)聲諧振器(qi)(qi))和(he)(he)SMR(固態裝配(pei)諧振器(qi)(qi))。FBAR包括層(ceng)疊在諸如硅或玻璃的(de)基板上的(de)上電極膜(mo)、壓(ya)電膜(mo)和(he)(he)下電極膜(mo)的(de)層(ceng)疊結(jie)構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包(bao)含這些壓(ya)電薄膜諧振(zhen)器(qi)的濾(lv)波器(qi)也受到關注。壓(ya)電薄膜諧振(zhen)器(qi)的例子包(bao)括FBAR(薄膜腔聲諧振(zhen)器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配諧振(zhen)器(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值得(de)一提的是,德國(guo)的Infneon公司(si)在2003年推出了具(ju)有布拉格反射層結(jie)構的固(gu)(gu)貼式(又稱固(gu)(gu)態裝配型)薄膜(mo)體聲波諧振器(SMR-FBAR)[9-10].而我國(guo)關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引言(yan)固態(tai)引信諧振器是(shi)(shi)電子安全(quan)系(xi)統的重(zhong)要組成部(bu)分之一,它(ta)能在后坐加速度(du)和(he)旋轉離心(xin)力的作(zuo)用下向前(qian)運動(dong),使限位保(bao)險處于鎖定狀態(tai),從而使引信處于待發狀態(tai)。但是(shi)(shi),。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米(mi)波(bo)(bo)平面振(zhen)蕩器(qi)(qi)基片(pian)集成(cheng)波(bo)(bo)導相位噪聲(sheng)雙端(duan)口壓控振(zhen)蕩器(qi)(qi)注入鎖定諧波(bo)(bo)振(zhen)蕩器(qi)(qi)毫米(mi)波(bo)(bo)平面振(zhen)蕩器(qi)(qi)是毫米(mi)波(bo)(bo)平面集成(cheng)系統ZnO固態裝(zhuang)配型諧振(zhen)器(qi)(qi)(SMR)的(de)模擬分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲(sheng)諧振器(10;110;和210)包括少部分地補償通過電極壓(ya)電疊層(18)引入(ru)的溫度(du)感應效應的鐵磁(ci)補償器(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞(ci):微波(bo)(bo)濾波(bo)(bo)器時域有限差分法階梯(ti)阻抗諧振(zhen)器橢(tuo)圓函(han)數濾波(bo)(bo)器多層6湯亮;郝震宏;喬(qiao)東海;汪(wang)承(cheng)灝;;ZnO固(gu)態裝配(pei)型(xing)諧振(zhen)器(SMR)的模擬分析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固(gu)態微型諧振(zhen)器的工作頻(pin)率高(gao)、功(gong)率容量大、損耗低、體(ti)積小,是目前(qian)有望第三(san)種為本研究(jiu)采用反射層聲學隔離(li)固(gu)定結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝(zhuang)配型諧振器(SMR)方面,論文采用(yong)上述(shu)模型分析了四分之(zhi)一波長布拉格反射(she)(she)柵(zha)(zha)對其(qi)諧振特性的(de)影(ying)響,得(de)到了SMR器件獲得(de)理想性能(neng)所(suo)需的(de)少反射(she)(she)柵(zha)(zha)對數;另(ling)外,考慮到實際(ji)。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這(zhe)樣形(xing)成的諧振器是(shi)固態(tai)裝配諧振器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個(ge)實施例中,襯底12由硅(gui)(Si)制成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大(da)字(zi)報利用無(wu)線傳感器網絡實(shi)現運動聲源(yuan)的(de)定位與(yu)跟蹤錄取,報告用相(xiang)對運動幾何求解BOT問題ZnO固態裝配型(xing)諧振器(SMR)的(de)模擬分析PGC解調光纖傳聲器技術的(de)討論一(yi)種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上述壓(ya)電(dian)薄(bo)膜(mo)諧(xie)(xie)振(zhen)器(qi)分為兩種類型,FBAR(薄(bo)膜(mo)腔聲(sheng)諧(xie)(xie)振(zhen)器(qi))和SMR(固(gu)態裝配(pei)諧(xie)(xie)振(zhen)器(qi))。FBAR包(bao)括(kuo)層疊在諸如硅或玻璃的(de)(de)基板上的(de)(de)上電(dian)極膜(mo)、壓(ya)電(dian)膜(mo)和下電(dian)極膜(mo)的(de)(de)層疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年(nian)10月31日-壓電薄膜諧振器可(ke)分成FBAR(薄膜塊體(ti)聲波諧振器)型和SMR(固態裝配(pei)諧振器,solidlymountedresonator)型。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳感器是混(hun)合型(xing)諧(xie)振(zhen)(zhen)無(wu)源諧(xie)振(zhen)(zhen)結構,其可以(yi)在制造(zao)過程中被集成于車輛地(di)面連接裝置HBAR“高模薄膜體(ti)聲波諧(xie)振(zhen)(zhen)器”),或者帶有布拉(la)格反射鏡(jing)(SMR“固(gu)態裝配型(xing)諧(xie)振(zhen)(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器是混合(he)型諧振(zhen)無(wu)源諧振(zhen)結(jie)構,其可以在制造過程中被集成于車輛地面連接(jie)裝(zhuang)置HBAR"高模薄(bo)膜體聲波(bo)諧振(zhen)器"),或者帶有布拉(la)格(ge)反射鏡(SMR"固態裝(zhuang)配型諧振(zhen)器"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月(yue)16日-[0020]壓(ya)電薄膜諧振器包括FBAR型和SMR型,其(qi)中FBAR是薄膜體(ti)聲波諧振器(Film-BulkAcousticResonator)的(de)縮寫,以(yi)及SMR是固態安裝諧振器(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年(nian)10月(yue)5日-將上(shang)述(shu)壓電(dian)薄膜(mo)諧(xie)振(zhen)器(qi)分(fen)為兩種類型(xing),FBAR(薄膜(mo)腔聲諧(xie)振(zhen)器(qi))和(he)SMR(固態裝配(pei)諧(xie)振(zhen)器(qi))。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電(dian)薄膜(mo)諧振器(qi)可分成FBAR(薄膜(mo)塊(kuai)體聲波諧振器(qi))型和SMR(固態裝(zhuang)配諧振器(qi),solidlymountedresonator)型。FBAR具有(you)由上部電(dian)極、壓電(dian)膜(mo)和下部電(dian)極構成的(de)。